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磁控溅射制备Co/Cu/FeNi三端结器件
引用本文:任妙娟,季刚,陈延学,宋红强,梅良模,刘宜华.磁控溅射制备Co/Cu/FeNi三端结器件[J].功能材料与器件学报,2003,9(3):340-342.
作者姓名:任妙娟  季刚  陈延学  宋红强  梅良模  刘宜华
作者单位:山东大学物理与微电子学院,济南,250100
摘    要:用磁控溅射及光刻工艺制成了5μm×5μm的Co/Cu/FeNi三端结器件,测量了不同注入电流下样品的输出电压与外磁场的关系,发现其输出电压与外磁场的关系曲线表明样品具有自旋相关的双极输出信号,双极输出信号可达17μV。测量了输出电压与注入电流的关系,发现二者在电流比较小时呈线性变化,当电流比较大时偏离线性。

关 键 词:磁控溅射  三端结器件  Co/Cu/FeNi  制备  双极性输出  自旋晶体管
文章编号:1007-4252(2003)03-0340-03
修稿时间:2002年10月28

Co/Cu/FeNi three terminal device prepared by magnetron sputtering
REN Miao- juan,JI Gang,CHEN Yan- xue,SONG Hong- qiang,MEI Liang- mo,LIU Yi- hua.Co/Cu/FeNi three terminal device prepared by magnetron sputtering[J].Journal of Functional Materials and Devices,2003,9(3):340-342.
Authors:REN Miao- juan  JI Gang  CHEN Yan- xue  SONG Hong- qiang  MEI Liang- mo  LIU Yi- hua
Abstract:
Keywords:magnetron sputtering  three terminal device  depolar output
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