半导体工业中的环境控制

1.引言 1.1.对晶体管和集成电路的高可靠性、超小型化、高性能及低成本的要求来说,必须对工作间的净化、所使用的气体和试剂的高纯度等极限技术加以控制。在掩模制作、片子加工、组装工艺等过程中的净化室、净化台的环境控制和各工艺中所使用的气体、试剂的过滤及杂质影响等成为研究的课题,可是,虽然严格的环境控制直接带来了半导体产品的质量和成品率的提高,但定量的讨论现今还很少。 1.2.与重化学工业、造纸工业相比较,虽然半导体工业的空气污染、水的污浊及固体废物等公害少一些,但仍要对废物的处理予以足够的重视。关于空气污染还必须考虑的是除硫的氧化物外,灰尘、氟化氢和氨等的污染。