| 沉积参量对硼碳氮薄膜光透过性质的影响 |
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| 引用本文： | 王玉新,郑亚茹,宋哲,冯克成.沉积参量对硼碳氮薄膜光透过性质的影响[J].功能材料,2008,39(6):935-938. |
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| 作者姓名： | 王玉新 郑亚茹 宋哲 冯克成 |
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| 作者单位： | 1. 辽宁师范大学,物理与电子技术学院,辽宁,大连,116029
2. 长春理工大学,理学院,吉林,长春,130022 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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辽宁省大连市科技计划 |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射技术,用六角氮化硼和石墨为溅射靶,以氩气(Ar)和氮气(N2)为工作气体,在玻璃衬底上制备出硼碳氮(BCN)薄膜.通过改变氮气分压比、衬底温度及沉积时间,研究了沉积参量对薄膜光透过性质的影响.利用X射线光电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)及可见-近红外透过光谱对薄膜进行了表征.实验结果表明,所制备薄膜在400～1000nm波段具有较高透过率.并且沉积参量对BCN薄膜的透过性能有很大影响,适当改变沉积参量能获得透过率高于90%的BCN薄膜.在固定其它条件只改变一个沉积参量的情况下,得到制备具有较高透过率的BCN薄膜的最佳沉积条件:氮气分压比为1/3、沉积温度为300℃、沉积时间为1h.
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| 关 键 词： | 硼碳氮薄膜 射频磁控溅射 沉积参量 透过性质 |
Influence of deposition parameters on transmission properties of boron carbon nitride thin films |
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| WANG Yu-xin,ZHENG Ya-ru,SONG Zhe,FENG Ke-cheng.Influence of deposition parameters on transmission properties of boron carbon nitride thin films[J].Journal of Functional Materials,2008,39(6):935-938. |
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| Authors: | WANG Yu-xin ZHENG Ya-ru SONG Zhe FENG Ke-cheng |
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