光学面形检测仪

该仪器采用相移式横向剪切干涉技术,是一种数字波面测试技术.其原理是将相干两个剪切波面中的一个波面作阶梯式或连续变化,从而使干涉场中的干涉条纹作阶梯式或连续式扫描,用CCD相机获取干涉场中各点的光强,利用图像中各点光强的变化关系,求出被测波面的位相信息或波面面形.由于横向剪切干涉技术是利用被测波面自身实现干涉的,不需要标准的参考面,测试装置简单、测量速度快、测量精度高,且可以实时对剪切干涉图进行采集与处理,得到被测原始波面的信息.由西安工业大学研制的该测量仪器适合测量非球面度不高的光学非球面面形,如抛物面、椭球面、双曲面等二次曲面或其他高次曲面的非球面镜,克服了过去用刀口阴影检验不