|
|||||
|
|
| 类金刚石薄膜的同步辐射光电子能谱研究 | |
| 引用本文： | 王嘉鸥,奎热西,买买提依明,苏润,钱海杰,洪才浩,程峰,李波.类金刚石薄膜的同步辐射光电子能谱研究[J].核技术,2005,28(2):89-92. |
| 作者姓名： | 王嘉鸥 奎热西 买买提依明 苏润 钱海杰 洪才浩 程峰 李波 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院高能物理研究所,北京,100049;兰州大学,兰州,730000 2. 中国科学院高能物理研究所,北京,100049 3. 兰州大学,兰州,730000 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金 (10074063)和 (10274084)资助 |
| 摘 要： | 利用同步辐射光电子能谱全电子产额模式(TEY)对石墨、金刚石薄膜和类金刚石薄膜(DLC)的ClsX射线吸收谱进行了研究。在高真空里表面净化处理后，在类金刚石薄膜的Cls吸收谱中分别观察到对应于金刚石sp^3杂化结构成分和石墨sp^2杂化结构成分的特征峰，说明了类金刚石薄膜是由碳sp^2、sp^3两种杂化结构无序混合形成的非晶碳结构；然后，测量了一系列类金刚石薄膜样品的ClsX射线光电子能谱(XPS)，得到了每组样品的sp^2、sp^3成分比。 |
| 关 键 词： | 类金刚石薄膜（DLC） X射线吸收谱（XAS） X射线光电子能谱（XPS） |
Study of diamond-like carbon film by synchrotron radiation photoelectron spectroscopy |
|
| WANG Jiaou,IBRAHIM K,ABBAS M I,SU Run,QIAN Haijie,HONG Caihao,CHENG Feng,LI Bo.Study of diamond-like carbon film by synchrotron radiation photoelectron spectroscopy[J].Nuclear Techniques,2005,28(2):89-92. | |
| Authors: | WANG Jiaou IBRAHIM K ABBAS M I SU Run QIAN Haijie HONG Caihao CHENG Feng LI Bo |
| Affiliation: | WANG Jiaou1,2 IBRAHIM K1 ABBAS M I1 SU Run1 QIAN Haijie1 HONG Caihao1 CHENG Feng2 LI Bo2 1 |
| Abstract: | We have investigated the C1s X-ray absorption spectra of graphite, diamond and diamond-like car- bon ( DLC ) film using total electron yield mode of the surface sensitive photoelectron spectroscopy. After cleaning the surface in an ultra high vacuum system, we found the feature peaks of the sp3 and sp2 hybridized bonding on the C1s X-ray absorption spectra of DLC, which means that DLC is an amorphous carbon of sp2 mixed with sp3 bonding. And we have measured the C1s photoelectron spectra of a series of DLC films, and calculated the ratios of sp2/sp3. |
| Keywords: | Diamond-like carbon X-ray absorption spectra X-ray photoelectron spectra |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |