| 振动式微机械隧道陀螺仪的制备工艺 |
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| 引用本文： | 王凌云,孙道恒?,刘益芳.振动式微机械隧道陀螺仪的制备工艺[J].传感技术学报,2008,21(3):439-442. |
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| 作者姓名： | 王凌云 孙道恒? 刘益芳 |
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| 作者单位： | 厦门大学机电工程系,福建,厦门,361005 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助(50675184)，福建省科技计划重点项目资助(2002H022)，回国留学人员基金资助，厦门大学新世纪优秀人才基金资助 |
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| 摘 要： | 振动梁式微机械隧道陀螺仪是一种以悬臂梁作为换能构件,以电子隧道效应为输出敏感方式的高精度和高灵敏的角振动传感器,解决了传统机械陀螺仪因尺寸减小而导致的灵敏度降低的缺点。结合微机械隧道陀螺仪的尺寸特点:硅尖与下电极的距离为1μm,齿厚和齿间距之间的距离为4μm,梁的厚度为50μm,提出硅正面刻蚀—玻璃上电极制作—硅玻键合—硅背面减薄—硅背面刻蚀的DDSOG(DeepDrySiliconOnGlass)工艺方案,成功实现了整个器件的工艺制备。本文就DDSOG工艺中的关键工艺进行了一一论述,该工艺不仅能用于隧道陀螺仪的制备,同时也可以制作其它高深宽比传感器或执行器。
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| 关 键 词： | 微机械陀螺仪 隧道效应 DDSOG工艺 硅尖 |
| 文章编号： | 1004-1699(2008)03-0439-04 |
| 修稿时间： | 2007年9月30日 |
The Fabrication Process of Tunneling Vibratory Microgyroscopes |
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| WANG Ling-yun,SUN Dao-heng?,LIU Yi-fang.The Fabrication Process of Tunneling Vibratory Microgyroscopes[J].Journal of Transduction Technology,2008,21(3):439-442. |
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| Authors: | WANG Ling-yun SUN Dao-heng? LIU Yi-fang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-machined gyroscope tunneling effect DDSOG process silicon tips |
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