| 电磁微电机的设计与制造技术 |
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| 引用本文： | 高杨 赵小林 陈文元 张琛. 电磁微电机的设计与制造技术[J]. 太赫兹科学与电子信息学报, 2003, 1(3): 71-74 |
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| 作者姓名： | 高杨 赵小林 陈文元 张琛 |
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| 作者单位： | 1. 中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900;上海交通大学,微纳米科学技术研究院,上海,200030
2. 上海交通大学,微纳米科学技术研究院,上海,200030 |
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| 基金项目： | 国防科技基础研究基金资助项目(41305010301) |
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| 摘 要： | 介绍了上海交通大学电磁微电机的研究、设计、制造技术及应用现状。
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| 关 键 词： | 电磁微电机 气隙磁通 定子 控制电路 MEMS 微细制造 |
| 文章编号： | 1672-2892(2003)03-0071-04 |
| 修稿时间： | 2003-04-04 |
Design, Fabrication and Applications of Electromagnetic Micromotor |
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| GAO Yang,ZHAO Xiao-lin,CHEN Wen-yuan,ZHANG Chen. Design, Fabrication and Applications of Electromagnetic Micromotor[J]. Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology, 2003, 1(3): 71-74 |
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| Authors: | GAO Yang ZHAO Xiao-lin CHEN Wen-yuan ZHANG Chen |
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| Affiliation: | GAO Yang1,2,ZHAO Xiao-lin2,CHEN Wen-yuan2,ZHANG Chen2 |
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| Abstract: | Research and development achievements on electromagnetic micromotor by Shanghai Jiao Tong University are summarized in the paper, including its structural design, electrical control and microfabrication techniques. |
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| Keywords: | electric engineering electromagnetic micromotor survey MEMS planar coil |
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