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PERC太阳电池背面SiNx折射率的优化
引用本文:回双双,陆红艳,季静佳,李果华.PERC太阳电池背面SiNx折射率的优化[J].半导体技术,2014,39(6):447-451.
作者姓名:回双双  陆红艳  季静佳  李果华
作者单位:江南大学理学院,江苏无锡214122;无锡尚德电力控股有限公司,江苏无锡214028;无锡尚德电力控股有限公司,江苏无锡214028;江苏省(尚德)光伏技术研究院,江苏无锡214028;江南大学理学院,江苏无锡214122;江苏省(尚德)光伏技术研究院,江苏无锡214028
摘    要:提高背反射率、降低背表面复合速率是提高太阳电池转换效率的重要研究方向之一。SiNx薄膜因其良好的钝化特性不仅应用在传统太阳电池发射极钝化,也同时应用在局部背接触太阳电池(PERC)背表面,起到背面钝化及增加背反射的作用。为增强PERC太阳电池背钝化、提高电池背面长波光子的反射率,在背表面AlOx/SiNx叠层膜模型基础上,提出并研究了不同折射率的双层SiNx对PERC太阳电池性能的影响,实验结果表明:采用折射率2.4/2.0的SiNx薄膜,PERC太阳电池电性能相对较好,相对常规背钝化电池,开路电压、电流密度以及转换效率分别提高了1.8 mV,0.16 mA/cm2,0.11%。

关 键 词:PERC  SiNx  折射率  背面钝化  背面反射
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