| 薄膜光学常数的原位测定 |
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| 引用本文： | 谢茂彬,吴智勇,崔恒毅,赵新潮,玄志一,刘清权,刘锋,孙聊新,王少伟. 薄膜光学常数的原位测定[J]. 红外与毫米波学报, 2022, 41(5): 888-893 |
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| 作者姓名： | 谢茂彬 吴智勇 崔恒毅 赵新潮 玄志一 刘清权 刘锋 孙聊新 王少伟 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室，上海 200083;上海节能镀膜玻璃工程技术研究中心，上海 200083;上海量子科学研究中心，上海 201315;中国科学院大学，北京 100049,中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室，上海 200083;上海师范大学物理系，上海 200234;上海节能镀膜玻璃工程技术研究中心，上海 200083,中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室，上海 200083;上海节能镀膜玻璃工程技术研究中心，上海 200083;上海量子科学研究中心，上海 201315;中国科学院大学，北京 100049,中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室，上海 200083;上海节能镀膜玻璃工程技术研究中心，上海 200083;上海量子科学研究中心，上海 201315;中国科学院大学，北京 100049,中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室，上海 200083;上海量子科学研究中心，上海 201315;中国科学院大学，北京 100049;上海科技大学物质科学与技术学院，上海 201210,中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室，上海 200083;上海量子科学研究中心，上海 201315;中国科学院大学，北京 100049;上海科技大学物质科学与技术学院，上海 201210,上海师范大学物理系，上海 200234,中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室，上海 200083;上海节能镀膜玻璃工程技术研究中心，上海 200083;中国科学院大学，北京 100049,中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室，上海 200083;上海节能镀膜玻璃工程技术研究中心，上海 200083;上海量子科学研究中心，上海 201315;中国科学院大学，北京 100049;南通智能传感研究院，江苏 南通 226000 |
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| 基金项目： | 本研究得到了国家重点研发项目（2021YFA0715500）和国家自然科学基金资助(11874376) |
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| 摘 要： | 薄膜的光学常数（折射率和消光系数）精度直接影响设计和制造的光学器件的性能。大多数光学常数的测定方法较为复杂，不能直接应用在镀膜过程中。提出了一种薄膜光学常数原位实时测量的方法，通过监测沉积材料的透射率可以快速准确地测量光学常数。测量了高吸收材料Si、低吸收材料Ta2O5和超低吸收材料SiO2的近红外光学常数，用这种方法测得光学常数分别为n=3.22，k=4.6×10-3，n=2.06，k=1.3×10-3和n=1.46，k=6.6×10-5。该方法适用于强吸收材料和弱吸收材料光学常数的测定，为在线精确测量薄膜的光学常数提供了一种有效的方法，对设计和制造高质量的光学器件具有重要意义。
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| 关 键 词： | 光学常数 近红外 薄膜 原位 测定 |
| 收稿时间： | 2022-02-14 |
| 修稿时间： | 2022-09-07 |
On-site determination of optical constants for thin films |
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| XIE Mao-Bin,WU Zhi-Yong,CUI Heng-Yi,ZHAO Xin-Chao,XUAN Zhi-Yi,LIU Qing-Quan,LIU Feng,SUN Liao-Xin and WANG Shao-Wei. On-site determination of optical constants for thin films[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2022, 41(5): 888-893 |
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| Authors: | XIE Mao-Bin WU Zhi-Yong CUI Heng-Yi ZHAO Xin-Chao XUAN Zhi-Yi LIU Qing-Quan LIU Feng SUN Liao-Xin WANG Shao-Wei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Optical constants near-infrared thin film on-site determination |
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