| 基于薄膜工艺的1 030 GHz混频器和750~1 100 GHz倍频器研制 |
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| 引用本文： | 孟进,张德海,牛斌,朱皓天,刘锶钰,范道雨,陈胜堂,周明. 基于薄膜工艺的1 030 GHz混频器和750~1 100 GHz倍频器研制[J]. 红外与毫米波学报, 2022, 41(5): 871-878 |
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| 作者姓名： | 孟进 张德海 牛斌 朱皓天 刘锶钰 范道雨 陈胜堂 周明 |
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| 作者单位： | 中国科学院国家空间科学中心微波遥感重点实验室，北京 100190,中国科学院国家空间科学中心微波遥感重点实验室，北京 100190,南京电子器件研究所微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室，江苏 南京 210016;南京中电芯谷高频器件产业技术研究院有限公司，江苏 南京 210016,中国科学院国家空间科学中心微波遥感重点实验室，北京 100190,中国科学院国家空间科学中心微波遥感重点实验室，北京 100190,南京电子器件研究所微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室，江苏 南京 210016,南京电子器件研究所微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室，江苏 南京 210016;南京中电芯谷高频器件产业技术研究院有限公司，江苏 南京 210016,南京电子器件研究所微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室，江苏 南京 210016 |
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| 基金项目： | 中国科学院青年创新促进会（E1213A041S）；中科院国家空间科学中心“攀登计划”（E0PD40013S） |
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| 摘 要： | 基于南京电子器件研究所砷化镓工艺线，自主完成了750~1 100 GHz全频带三倍频器以及中心频率为1 030 GHz的低损耗二次谐波混频器的研制。为了提升模块的性能，将传统的场路结合的设计方法进行了扩展，引入器件的参数优化，并建立起两者互为反馈的关系，从而达到整个设计过程的闭环。研制出的单片电路厚度为3 μm，并通过梁氏引线支撑悬置于腔体结构中。测试结果表明宽带倍频器在790~1 100 GHz频率范围内输出功率为-23~-11 dBm。以上述倍频源作为射频信号对二次谐波混频器进行测试，在1 020~1 044 GHz频率范围内变频损耗优于17.5 dB，在1 030 GHz处测得的最小变频损耗为14.5 dB。
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| 关 键 词： | 太赫兹 单片电路 谐波混频器 宽带倍频 |
| 收稿时间： | 2022-01-24 |
| 修稿时间： | 2022-09-08 |
Design of a 1 030 GHz mixer and a 750~1 100 GHz tripler based on thin-film technology |
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| MENG Jin,ZHANG De-Hai,NIU Bin,ZHU Hao-Tian,LIU Si-Yu,FAN Dao-Yu,CHEN Sheng-Tang and ZHOU Ming. Design of a 1 030 GHz mixer and a 750~1 100 GHz tripler based on thin-film technology[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2022, 41(5): 871-878 |
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| Authors: | MENG Jin ZHANG De-Hai NIU Bin ZHU Hao-Tian LIU Si-Yu FAN Dao-Yu CHEN Sheng-Tang ZHOU Ming |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | terahertz monolithic circuit subharmonic mixer broadband frequency multiplier |
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