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| 10~(-13)托的液氦低温冷凝泵 | |
| 引用本文： | 冯广泽 ,洪文玉 ,张美燕 ,徐云仙.10~(-13)托的液氦低温冷凝泵[J].真空,1980(1). |
| 作者姓名： | 冯广泽 洪文玉 张美燕 徐云仙 |
| 摘 要： | 本文介绍了超高真空校准装置用的液氦低温冷凝泵的性能。 该泵的特点是泵体的双层外壁用液氮冷却作为液氮屏蔽,而未采用泵内的液氮屏蔽挡板。极限真空度高,抽速大,满足了校准装置的要求。 液氮低温冷凝泵在4.2K时测得极限真空为1.2 ×10～-12托,抽速为6500升/秒(对干燥氮气)。减压降温接近2K时,极限真空为 10～-13托,对氢气抽速为11000升/秒。 一、引言 低温冷凝泵是利用致冷剂将固体表面冷到极低温度,使气体碰在冷凝表面上被凝结,从而产生抽气作用的。这种抽气过程基本上是一种物理吸附过程。它的抽速仅与低温表面或低温板的面积、几何形… |
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