| 超精密加工的发展状况及影响表面质量若干因素的分析 |
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| 引用本文： | 赵惠英,贺大兴,赵松伦,索奇.超精密加工的发展状况及影响表面质量若干因素的分析[J].制造技术与机床,2004(8):31-33,39. |
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| 作者姓名： | 赵惠英 贺大兴 赵松伦 索奇 |
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| 作者单位： | 北京机床所精密机电有限公司,北京,100102 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 文章就超精密加工的应用领域进行了简述,介绍了超精密制造技术的发展状况及其发展方向,对影响超精密加工表面质量的因素进行了理论分析.指出超精密加工表面质量是由于多种因素影响形成的,提高加工表面质量的核心是降低各子集的分维数.分维数越高振动规律越复杂,其微细结构越复杂,对纳米级超精密加工表面质量影响越大.
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| 关 键 词： | 超精密加工 表面质量 影响因素分析 分维数 |
Developments of Ultra- precision Machining and Analysis of the Factors Influencing the Surface Quality |
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