| 基于二维零位光栅的高精度平面定位系统 |
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| 引用本文： | 周成刚,叶锡标,张阳,黄文浩. 基于二维零位光栅的高精度平面定位系统[J]. 纳米技术与精密工程, 2006, 4(3): 190-194 |
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| 作者姓名： | 周成刚 叶锡标 张阳 黄文浩 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,合肥,230027 |
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| 摘 要： | 随着微电子工业和纳米加工技术的快速发展，对超高精度的定位基准的要求也越来越高．提出一种基于特殊编码的非周期性二维零位光栅的平面定位传感器，采用在二维方向上的非周期性编码产生一个表征绝对零位的最大输出峰．当两块二维零位光栅的相互位置完全对准时，透过的光强达到峰值，峰值的半宽仅为一个光栅栅格尺寸；当两块二维零位光栅的相互位置稍有移动时，透过光强急剧衰减．用光电接受器件接受透射光强信号，经过电路处理，反馈给定位驱动装置，可以在平面内同时实现X和Y方向高精度的定位要求．采用栅格常数为5μm的光栅做实验，可以达到优于20nm的定位精度．实验表明，该平面定位系统可以满足高精度平面定位的要求，有着广泛的应用空间．
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| 关 键 词： | 二维零位光栅 平面定位 精密计量 位置编码器 |
| 文章编号： | 1672-6030（2006）03-0190-05 |
| 收稿时间： | 2006-06-06 |
| 修稿时间： | 2006-06-06 |
A Two-Dimensional Zero-Reference Grating-Based High-Precision Planar Positioning System |
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| ZHOU Cheng-gang,YE Xi-biao,ZHANG Yang,HUANG Wen-hao. A Two-Dimensional Zero-Reference Grating-Based High-Precision Planar Positioning System[J]. Nanotechnology and Precision Engineering, 2006, 4(3): 190-194 |
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| Authors: | ZHOU Cheng-gang YE Xi-biao ZHANG Yang HUANG Wen-hao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | two-dimensional zero-reference grating planar positioning precision metrology position encoder |
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