| MEMS结构中碳纳米管的电泳沉积及其场发射特性研究 |
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| 引用本文： | 郭琳瑞,陈烽,叶雄英,刘力涛,伍康,周兆英. MEMS结构中碳纳米管的电泳沉积及其场发射特性研究[J]. 传感技术学报, 2006, 19(5): 2340-2343 |
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| 作者姓名： | 郭琳瑞 陈烽 叶雄英 刘力涛 伍康 周兆英 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器及机械学系,精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，高等学校博士学科点专项科研项目 |
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| 摘 要： | 利用电泳沉积的方法在MEMS结构特定位置上组装碳纳米管薄膜,以此作为发射体研制基于碳纳米管场发射的传感器,并对其场发射进行了测试和分析.电镜观测与场发射实验结果表明,利用电泳沉积方法可以只在MEMS结构的特定位置沉积碳纳米管薄膜,对于4μm的发射间隙、该薄膜的场发射开启电压约为3.6V～4V,发射电压20V时的发射电流可至28μA.这种“post-MEMS“的碳纳米管薄膜组装方法具有工艺简单的特点,同时避免了碳纳米管生长对MEMS工艺环境以及器件的污染、破坏,实现了纳米材料组装与MEMS工艺的兼容.
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| 关 键 词： | 微机电系统(MEMS) 纳机电系统(NEMS) 碳纳米管 场发射 |
| 文章编号： | 1004-1699(2006)05-2340-04 |
| 修稿时间： | 2006-07-01 |
Electrophoresis Deposition of Carbon Nanotubes in MEMS Structures and Their Field Emission Characteristics |
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| GUO Lin-rui,CHEN Feng,YE Xiong-ying,LIU Li-tao,WU Kang,ZHOU Zhao-ying. Electrophoresis Deposition of Carbon Nanotubes in MEMS Structures and Their Field Emission Characteristics[J]. Journal of Transduction Technology, 2006, 19(5): 2340-2343 |
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| Authors: | GUO Lin-rui CHEN Feng YE Xiong-ying LIU Li-tao WU Kang ZHOU Zhao-ying |
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| Affiliation: | State Key Laboratory of Precision Measurement Technology and Instruments,Department of Precision Instruments & Mechanology, Tsinghua University, Beijing 100084, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | microelectromechnical system (MEMS) nanoelectromechnical system (MEMS) carbon nanotube field emission |
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