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| 0.35μm分辨率的远紫外投影光刻物镜 | |
| 引用本文： | 段立安.0.35μm分辨率的远紫外投影光刻物镜[J].电子工业专用设备,1999(1). |
| 作者姓名： | 段立安 |
| 作者单位： | 电子工业部第四十五研究所 |
| 摘 要： | 介绍一种２４８ｎｍ谱线投影光刻物镜光学设计结果，提出制造该镜头应解决的一些技术问题。 |
| 关 键 词： | 投影光刻物镜 远紫外 光学设计 分辨率 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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