| 超精密二维测量定位系统评定及误差分析 |
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| 引用本文： | 沈小燕,林杰俊,李加福,尹建龙,李东升. 超精密二维测量定位系统评定及误差分析[J]. 仪表技术与传感器, 2013, 0(6) |
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| 作者姓名： | 沈小燕 林杰俊 李加福 尹建龙 李东升 |
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| 作者单位： | 中国计量学院计量测试工程学院,浙江杭州,310018 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 超精密测量定位是实现现代超精密加工的重要环节.以宏微结合式的超精密二维定位平台为基础,组建了基于光谱共焦位移传感器的超精密二维测量定位系统,介绍了该系统的组成与功能实现方法.利用高等级量块对系统进行二维校准,再将该系统应用于二维尺寸的测量,分析了测量误差,并进行了测量不确定度的评定,试验获得该测量系统X、Y方向的测量不确定度分别为89 nm和87 nm.研究表明该超精密二维测量定位系统初步达到了纳米级测量效果.
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| 关 键 词： | 超精密二维测量 光谱共焦传感器 误差分析 不确定度评定 |
Evaluation and Error Analysis of Ultra-precision Two-dimensional Measuring and Positioning System |
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| SHEN Xiao-yan , LIN Jie-jun , LI Jia-fu , YIN Jian-long , LI Dong-sheng. Evaluation and Error Analysis of Ultra-precision Two-dimensional Measuring and Positioning System[J]. Instrument Technique and Sensor, 2013, 0(6) |
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| Authors: | SHEN Xiao-yan LIN Jie-jun LI Jia-fu YIN Jian-long LI Dong-sheng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ultra-precision measuring and positioning confocal chromatic displacement sensor error analysis evaluation of uncertainty |
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