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基于神经网络的划片机光栅传感器补偿方法
引用本文:马岩,白雪峰,郝鑫,荣宇,肇群,白宇. 基于神经网络的划片机光栅传感器补偿方法[J]. 仪表技术与传感器, 2013, 0(6)
作者姓名:马岩  白雪峰  郝鑫  荣宇  肇群  白宇
作者单位:沈阳仪表科学研究院有限公司,辽宁沈阳,110043
摘    要:提出了一种针对划片机的丝杠螺距误差补偿的新方法.采用光栅传感器的技术,克服传统补偿方法对于回程补偿不够准确的缺点;采用神经网络的算法,研制了一套适合的数学模型,进行专用分析拟合.在实际划片生产装配中,使用文中的方法,降低了螺距补偿过程中丝杠重复定位误差带来的影响,达到了良好的效果.

关 键 词:划片机  光栅传感器  神经网络  误差补偿

Compensation Method of Dicing Saw Screw Grating Sensor Based on Neural Network
MA Yan , BAI Xue-feng , HAO Xin , RONG Yu , ZHAO Qun , BAI Yu. Compensation Method of Dicing Saw Screw Grating Sensor Based on Neural Network[J]. Instrument Technique and Sensor, 2013, 0(6)
Authors:MA Yan    BAI Xue-feng    HAO Xin    RONG Yu    ZHAO Qun    BAI Yu
Abstract:
Keywords:dicing saw  grating sensor  neural network  error compensation
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