| 用于验证工艺开发包的测试芯片自动生成流程 |
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| 引用本文： | 刘得金,史 峥,胡龙跃.用于验证工艺开发包的测试芯片自动生成流程[J].计算机工程,2014(2):314-316. |
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| 作者姓名： | 刘得金 史 峥 胡龙跃 |
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| 作者单位： | 浙江大学超大规模集成电路设计研究所,杭州310027 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目“面向28-14nm的高空间分辨率工艺偏差在线检测关键技术研究”（61204111） |
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| 摘 要： | 在工艺开发包的验证过程中,需要手动地在版图编辑器中对参数化单元进行实例化和摆放绕线,由此产生大量测试芯片。为此,提出一种用于验证工艺开发包的测试芯片自动生成流程,采用软件接口产生Skill脚本和工艺开发包交互,以获取工艺开发包的信息、发送命令对工艺开发包进行操作的方法,能自动地对参数化单元予以实例化,自动地摆放绕线,并实现测试芯片版图的布局规划。用该软件接口针对某代工厂的40 nm半导体工艺开发包开发一套测试芯片,产生一条测试芯片的平均时间为5.2 s左右,结果证明该方法是有效的,能缩短工艺开发包的验证时间。
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| 关 键 词： | 工艺开发包 测试芯片 参数化单元 实验数据设计 可制造性设计 电子设计自动化 |
Test Chip Automatic Generation Flow for Process Development Verification |
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| LIU De-jin,SHI Zheng,HU Long-yue.Test Chip Automatic Generation Flow for Process Development Verification[J].Computer Engineering,2014(2):314-316. |
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| Authors: | LIU De-jin SHI Zheng HU Long-yue |
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| Affiliation: | (Institute of VLSI Design, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | process development test chip parameterized cell design of experimental data design of manufacturability electronicdesign automation |
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