超纯水精处理系统与水质评价

以应0.5um技术之需而设的一套超纯水精处理系统的实例，介绍了其工艺流程及特点，给出各项水质参数的实测数据，进而评述≤0.25um/8英寸线的水质评价项目及其限定值，分析手段和应具有的在线检测仪表。