| EUV成像仪极间串扰和伪信号触发计数修正 |
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| 引用本文： | 王晓东,朱小明,吕宝林,刘文光.EUV成像仪极间串扰和伪信号触发计数修正[J].光学精密工程,2012,20(12):2674-2679. |
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| 作者姓名： | 王晓东 朱小明 吕宝林 刘文光 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春,130033
2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033;中国科学院大学,北京100039 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，科技部国际合作项目 |
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| 摘 要： | 为了提高极紫外(EUV)光子计数成像仪的分辨率,分析了EUV成像仪系统WSZ阳极(Wedge Strip Zigzag anode)不同条带间的极间串扰以及非目标能量区间内信号触发产生的伪信号对图像质量的影响。讨论了串扰产生的原因,通过测量极间电容,找到了串扰系数所在的范围,并最终确定最优值;使用该系数对不同能量范围内的光子进行处理,确定了合适的能量区间(上下限)。在设定的能量区间重新成像并与原图像进行对比,结果显示图像质量有了明显提高。通过消除极间串扰和剔除混杂在图像数据中的伪数据,使图像的边缘特性更强,提高了图像分辨率。
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| 关 键 词： | 极紫外成像仪 光子计数成像仪 极间串扰 伪信号触发 能量上下限 边缘特性 |
Correction of crosstalk and fake signal trigger of EUV imager |
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| WANG Xiao-dong
,
ZHU Xiao-ming
,
L Bao-lin
,
LIU Wen-guang.Correction of crosstalk and fake signal trigger of EUV imager[J].Optics and Precision Engineering,2012,20(12):2674-2679. |
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| Authors: | WANG Xiao-dong ZHU Xiao-ming L Bao-lin LIU Wen-guang |
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| Affiliation: | WANG Xiao-dong
,
ZHU Xiao-ming
,
L(U) Bao-lin
,
LIU Wen-guang |
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