| 静电梳齿微谐振器结构参数化设计 |
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| 引用本文： | 刘恒,张富堂,何晓平,苏伟.静电梳齿微谐振器结构参数化设计[J].传感器与微系统,2009,28(7). |
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| 作者姓名： | 刘恒 张富堂 何晓平 苏伟 |
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| 作者单位： | 1. 重庆大学,通信工程学院,重庆,400030
2. 中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900 |
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| 基金项目： | "十五"国防预研基金 |
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| 摘 要： | 从理论上分析静电梳齿微谐振器的机械力学特性,给出了活动梳齿的横向谐振频率解析解。鉴于目前静电微谐振器模拟仿真中存在的问题,提出利用基于MAST语言实现的MEMS宏模块建立微谐振器系统级通用仿真模型,为验证外围电路提供了基础。仿真结果与理论模态分析相一致,验证了模型的有效性。通过谐振频率对结构参数的敏感性分析为优化谐振器性能提供基础,使工作模态远离其他高阶模态;合理安排激励电极,抑制一阶模态扰动。敏感性仿真表明:在横向振动微谐振器中,工作模态谐振频率随梁长的增加而减小;随梁宽的增加而增大;结构层厚度对横向振动频率没有影响;梳齿部分所有参数的变化造成频率的反向变化。
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| 关 键 词： | 静电梳齿微谐振器 参数模型 谐振频率 灵敏度分析 |
Parameter design of electrostatic comb micro-resonators |
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| LIU Heng,ZHANG Fu-tang,HE Xiao-ping,SU Wei.Parameter design of electrostatic comb micro-resonators[J].Transducer and Microsystem Technology,2009,28(7). |
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| Authors: | LIU Heng ZHANG Fu-tang HE Xiao-ping SU Wei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | electrostatic comb micro-resonators parameter model resonant frequency sensitivity analysis |
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