| 脉冲激光沉积ZnO薄膜的结构和光学特性研究 |
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| 引用本文： | 柯强 吕珂 叶志清 闽秋应. 脉冲激光沉积ZnO薄膜的结构和光学特性研究[J]. 中国材料科技与设备, 2006, 3(5): 86-88 |
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| 作者姓名： | 柯强 吕珂 叶志清 闽秋应 |
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| 作者单位： | [1]江西师范大学物理与通信电子学院,江西南昌330022 [2]华东交通大学基础学院物理系,江西南昌330013 |
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| 基金项目： | 江西师范大学青年成长基金项目（1074） |
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| 摘 要： | 采用脉冲激光，在Si（001）衬底上生长ZnO薄膜，利用X射线衍射（XRD），原子力显微镜（AFM）和光致发光光谱（PL）等测试手段研究了不同衬底温度所生长的ZnO薄膜结构特征和光学性能。研究表明：衬底温度影响ZnO薄膜结构和光学性能。在500℃～600℃沉积范围内随着温度升高，ZnO薄膜结构和光学性能提高。
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 脉冲激光沉积 光致发光光谱 |
Optical and Structual Properties of ZnO Films Grown on Si Substrate by Ecimer Pulsed Laser Deposition |
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| KE Qiang , LV Ke, YE Zhi - qing , MIN Qiu - ying. Optical and Structual Properties of ZnO Films Grown on Si Substrate by Ecimer Pulsed Laser Deposition[J]. Chinese Materials Science Technology & Equipment, 2006, 3(5): 86-88 |
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| Authors: | KE Qiang LV Ke YE Zhi - qing MIN Qiu - ying |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO films Pulsed laser deposition Photoluminescence |
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