激光衍射仪为JEM—200CX检验点分辨率并测定成象参量C_s和△f

先用复有金单晶膜、自身包含宽空间频带的无定形碳膜作为样品,在透射电镜JEM—200CX内拍摄得电子象的负片。实验时电镜装有顶插入式超高分辨率测角台THG2和超高分辨率极靴UHP。然后利用一架装配有光电倍增管系统的简易He—Ne激光衍射仪处理底片。从清晰的明暗环状衍射花样及金的衍射点,精确地检验出电镜的极限点分辨率为0.17nm。根据衍射花样的光强度分布与PCTF的一致性,直接测定出成象参量C_s=0.76mm、Δf=140.4nm。C_s的测定值与样本数据相比,相差约7.9％。与直接从电子象测量点间距来确定电镜分辨率相比,光学衍射花样实在是一种更好的分辨率检验方法。