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| 光学元件面形评价参数的稳定性及关联性 | |
| 引用本文： | 刘佳妮,田爱玲,刘丙才,朱学亮,王红军.光学元件面形评价参数的稳定性及关联性[J].西安工业大学学报,2018(3). |
| 作者姓名： | 刘佳妮 田爱玲 刘丙才 朱学亮 王红军 |
| 作者单位： | 西安工业大学光电工程学院 |
| 摘 要： | 为了选取最优评价参数以消除峰谷值(PV)参数出现的敏感性、波动性和不确定性等弊端,文中通过对不同波面的分析和重复性的讨论,对PV、PV_m、PV_(20)、PV_q和PV_r评价参数的稳定性进行分析;对传统抛光加工方式下仅含单项像差的波面和一般波面中PV相关评价参数与均方根值(RMS)的关系进行研究.结果表明:PV_q和PV_r参数有较好的稳定性.对于仅含单项像差的波面,PV相关参数和RMS的比值均为恒定值,采用单一的参数评价面形质量;对于一般的面形测量,PV相关参数和RMS的比值无确定的关系,采用PV和RMS参数综合评价光学元件的面形质量. |
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