电泳沉积ZnO薄膜的制备和表征(英文) |
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引用本文: | 何新华,王斌,符小艺,廖少毅.电泳沉积ZnO薄膜的制备和表征(英文)[J].稀有金属材料与工程,2012(Z3). |
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作者姓名: | 何新华 王斌 符小艺 廖少毅 |
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作者单位: | 华南理工大学;香港城市大学; |
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基金项目: | Scientific and Technological Planning Project of Guangdong Province(2007A010500012) |
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摘 要: | 采用电泳沉积,在ITO玻璃基片上制备了多孔纳米晶片组成的网状ZnO薄膜。研究了工艺参数如电流密度和沉积时间对ZnC)前躯体薄膜的表面形貌和相组成的影响。结果表明,纳米片在低电流密度下水平覆盖在基片上,而在高电流密度下则垂直于基片排列形成均匀分布的网状膜。基于纳米片表面上电荷的分布提出了可能的形成机理。由于一些纳米片的聚集,增加沉积时间有助于花状微米球的形成。从胶体悬浮液中所沉积的薄膜主要由ZnO和Zn_4C3(OH)_6H_2O相组成,热处理后薄膜中的Zn_4C3(OH)_6H_2O相完全转变成ZnO。多孔纳米片的形成是由于Zn_4C3(OH)_6H_2O相分解释放了水和CO_2。热处理加强了ZnO薄膜的微纳米层级结构。
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关 键 词: | ZnO 电泳沉积 网状膜 层级结构 |
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