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| MgZnO薄膜的准分子激光晶化（英文） | |
| 引用本文： | 胡居广,李启文,林晓东,罗仲宽,曹慧群,刁雄辉,张一倩,陈展耀,汤华斌.MgZnO薄膜的准分子激光晶化（英文）[J].稀有金属材料与工程,2012(Z3). |
| 作者姓名： | 胡居广 李启文 林晓东 罗仲宽 曹慧群 刁雄辉 张一倩 陈展耀 汤华斌 |
| 作者单位： | 深圳大学; |
| 基金项目： | S&T Research Foundation of Shenzhen(JCYJ20120613112423982,JC201005280419A) |
| 摘 要： | 利用KrF准分子激光,在室温下对PLD法制备的MgZnO薄膜进行激光退火处理,研究了激光能量密度为50~167 mJ/cm~2时对薄膜结晶性能的影响,并用XRD、AFM、透射光谱等测试手段对薄膜进行表征。结果表明,在能量密度为125 mJ/cm~2时,薄膜具有最佳结晶效果。由于激光具有良好的可控性,可以实现区域选择性退火。本实验为维持较低的基底温度下实现MgZnO薄膜的退火处理提供了参考。 |
| 关 键 词： | MgZnO薄膜 晶化 激光退火 |
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