MgZnO薄膜的准分子激光晶化(英文) |
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作者姓名: | 胡居广 李启文 林晓东 罗仲宽 曹慧群 刁雄辉 张一倩 陈展耀 汤华斌 |
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作者单位: | 深圳大学; |
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基金项目: | S&T Research Foundation of Shenzhen(JCYJ20120613112423982,JC201005280419A) |
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摘 要: | 利用KrF准分子激光,在室温下对PLD法制备的MgZnO薄膜进行激光退火处理,研究了激光能量密度为50~167 mJ/cm~2时对薄膜结晶性能的影响,并用XRD、AFM、透射光谱等测试手段对薄膜进行表征。结果表明,在能量密度为125 mJ/cm~2时,薄膜具有最佳结晶效果。由于激光具有良好的可控性,可以实现区域选择性退火。本实验为维持较低的基底温度下实现MgZnO薄膜的退火处理提供了参考。
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关 键 词: | MgZnO薄膜 晶化 激光退火 |
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