多晶硅铸锭用坩埚喷涂工艺研究

坩埚喷涂是多晶硅铸锭生产过程中重要的工序,直接影响到多晶硅锭的产品质量。介绍多晶硅铸锭的方法及工艺原理,着重分析坩埚对多晶硅锭的影响,并对坩埚喷涂工艺进行研究和分析,有利于提高多晶硅锭的生产效率和产品质量。