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| SF_6/N_2和SF_6/CF_4混合气体放电参数计算分析 | |
| 作者单位： | ;1.沈阳工业大学电气工程学院 |
| 摘 要： | 为研究SF_6混合气体的放电参数特性,文中通过两项近似求解Boltzmann方程得到温度为300 K,不同混合比下SF_6/N_2、SF_6/CF_4的电子能量分布函数(EEDF)、折合电离系数α/N、折合吸附系数η/N和折合有效电离系数(α-η)/N,与其他文献结果对比,验证了该计算方法与放电参数的有效性。结果表明:SF_6/N_2、SF_6/CF_4两种混合气体都随折合场强E/N增大时,在较低电子能量区域的EEDF减小而在较高电子能量区域的EEDF增大,且SF_6/N_2混合气体在电子能量为3 e V附近存在EEDF的骤降现象,该现象与N_2的碰撞参数截面有关,而SF_6/CF_4混合气体不存在此现象;此外,SF_6/N_2、SF_6/CF_4两种混合气体随着折合场强E/N增大,折合电离系数α/N显著增大、折合吸附系数η/N减小,最终折合有效电离反应系数(α-η)/N也均随之增加。 |
| 关 键 词： | Boltzmann方程 电子能量分布函数(EEDF) 折合电离系数α/N,折合吸附系数η/N |
Calculation of the Discharging Parameters of SF_6/N_2 and SF_6/CF_4 Mixtures |
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