| 等离子辉光TiN复合渗镀层结构与性能的研究 |
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| 引用本文： | 刘燕萍,徐晋勇,隗晓云,王建忠,高原,徐重. 等离子辉光TiN复合渗镀层结构与性能的研究[J]. 材料热处理学报, 2005, 26(6): 109-112 |
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| 作者姓名： | 刘燕萍 徐晋勇 隗晓云 王建忠 高原 徐重 |
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| 作者单位： | 1. 太原理工大学表面工程研究所,山西,太原,030024
2. 太原理工大学表面工程研究所,山西,太原,030024;桂林电子工业学院,广西,桂林,541004 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金和上海宝钢集团公司联合资助项目（50374050）;山西省自然科学基金项目（20031050） |
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| 摘 要： | 利用等离子渗金属技术、尖端放电、空心阴极效应和反应气相沉积技术，在碳钢表面形成具有扩散层和沉积层的新型复合渗镀TiN沉积层＋TiN析出相＋Ti扩散层，并与等离子渗镀TiN，Ti层以及在碳钢基体表面直接用PVD法沉积TiN薄膜的表面形貌、结构、耐蚀性进行了检测和分析。结果表明：等离子渗镀的复合渗镀TiN／Ti层表面为均匀起伏的胞状物，Ti和N原子由表层呈梯度沿基体向内分布，属于冶金扩散层；用等离子渗金属技术等形成的复合渗镀TiN沉积层＋TiN析出相＋Ti扩散层，其表面形貌是为均匀、致密、细小的组织，平均硬度达到2500HV0．1左右，渗镀层厚度达十几微米，TiN层择优取向为（200）晶面；而PVD法直接沉积TiN薄膜厚度较薄，晶粒以不规则形式分布在基体上。在0．5mol／L H2SO4溶液中腐蚀性能表明，复合渗镀TiN沉积层＋TiN析出相＋Ti扩散层的耐蚀性较好。
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| 关 键 词： | 等离子辉光放电 PVD TiN 耐蚀性 组织结构 |
| 文章编号： | 1009-6264（2005）06-0109-04 |
| 收稿时间： | 2005-03-02 |
| 修稿时间： | 2005-03-022005-09-30 |
Study on Structure and Property of TiN Multi-permeating coatings Prepared by Plasma Discharge Technique |
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| LIU Yan-ping,XU Jin-yong,KUI Xiao-yun,WANG Jian-zhong,GAO Yuan,XU Zhong. Study on Structure and Property of TiN Multi-permeating coatings Prepared by Plasma Discharge Technique[J]. Transactions of Materials and Heat Treatment, 2005, 26(6): 109-112 |
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| Authors: | LIU Yan-ping XU Jin-yong KUI Xiao-yun WANG Jian-zhong GAO Yuan XU Zhong |
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