| 自混合干涉微位移传感器 |
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| 引用本文： | 王鸣,聂守平,李明,李达成.自混合干涉微位移传感器[J].仪器仪表学报,2004,25(4):428-431. |
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| 作者姓名： | 王鸣 聂守平 李明 李达成 |
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| 作者单位： | 1. 南京师范大学物理科学与技术学院光电技术江苏省重点实验室,南京,210097
2. 清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，江苏省自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 有许多测量微位移的光干涉方法 ,然而难以实现结构紧凑、价格低的测量系统 ,因为这些传统干涉方法都需要许多光学元器件。提出用激光自混合干涉术测量微位移 ,分析和讨论了自混合干涉信号的产生和处理方法 ,用快速傅立叶变换(FFT)相位探测技术分析自混合干涉信号 ,可提高相位测量精度。提出的传感器可以用于亚微米级位移的测量和控制 ,并给出了 PZT位移的实验结果
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| 关 键 词： | 自混合干涉 位移测量 PZT驱动器 |
| 修稿时间： | 2002年10月1日 |
Self-mixing Interferometry for Micro Displacement Measurement |
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| Wang Ming,Nie Shouping,Li Ming,Li Dacheng.Self-mixing Interferometry for Micro Displacement Measurement[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2004,25(4):428-431. |
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| Authors: | Wang Ming Nie Shouping Li Ming Li Dacheng |
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| Affiliation: | Wang Ming 1 Nie Shouping 1 Li Ming 1 Li Dacheng 2 1 |
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| Abstract: | There exist many conventional interferometry for the micro displacement measurement,in the methods,however,it is difficult to construct compact and inexpensive measurement systems,because many optical elements and devices were necessary.Self-mixing interferometry is proposed for the measurement and control of sub-micron displacement.Self-mixing interference principle and signal processing technique are discussed.FFT phase detection technique was applied to analyze SMI signal.By these techniques,the high precision measurement can be obtained.The experiment result of displacement measurement of bimorph PZT is given. |
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| Keywords: | Self-mixing interference Displacement measurement PZT actuator |
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