| 工业超洁净环境设计关键技术的研究 |
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| 引用本文： | 刘根,蒋澄灿,芮晓光,廖黎莉,芮延年. 工业超洁净环境设计关键技术的研究[J]. 机械设计与制造工程, 2016, 0(11): 86-91. DOI: 10.3969/j.issn.2095-509X.2016.11.018 |
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| 作者姓名： | 刘根 蒋澄灿 芮晓光 廖黎莉 芮延年 |
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| 作者单位： | 1. 江苏天衡工程咨询管理有限公司苏州公司,江苏苏州,215000;2. 苏州大学机电学院,江苏苏州,215021;3. 苏州市职业大学机电学院,江苏苏州,215104 |
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| 基金项目： | 国家863专项资助项目(2012AA063506)，苏州市科技支撑项目(ss201344) |
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| 摘 要： | 从微电子、超净材料及微纳加工工艺对环境要求出发,通过对工业超洁净环境设计所涉及到的超洁净度空气的获取与保持、超净室系统设计、超洁净室关键技术等的研究,构建了工业超洁净环境层流条件和洁净度计算力学模型,并对工业超洁净环境设计中洁净室分子级空气污染(AMC)的处理、各级过滤器参数选择、新风温湿度调节等关键技术进行了较为深入的探讨,为微电子、超净材料及微纳加工等工业超洁净环境设计提供了理论基础.
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| 关 键 词： | 微电子、超净材料及微纳加工 超洁净环境设计 超净环境关键技术 |
Research on key design technologies of industrial super clean enviroment |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | microelectronics ultra clean materials and micro-nano processing super clean environment design key technologies of the super clean environment |
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