Über den Einfluss von Mikroobjektiven bei der Messung der Modulations-Übertragungsfunktion Optischer Systeme

Bei der Messung der Übertragungsfunktion optischer Systeme wird im allgemeinen zur Vergrößerung der bildseitigen Intensitätsverteilung ein Mikroobjektiv eingesetzt. Um den Einfluß von Mikroobjektiven auf die Genauigkeit der Ergebnisse der Messung von Übertragungsfunktionen zu untersuchen, wurden mit einem hochgeöffneten gut korrigierten Objektiv Messungen mit und ohne Mikroobjektiv durchgeführt. Ein früher beschriebenes Gerät 1], bei dem die bildseitige Intensitätsverteilung grundsätzlich ohne Zwischenschaltung eines Mikroobjektives abgetastet wird, wurde so erweitert, daß Messungen von Übertragungsfunktionen mit und ohne Mikroobjektiv durchgeführt werden konnten. Nur Mikroobjektive, die im Bereich der ausgenutzten Aperturen als ideale Objektive anzusehen sind, haben keinen Einfluß auf die Meßergebnisse. Auf der Achse ideal gute Mikroobjektive können bei außeraxialen Messungen von Übertragungsfunktionen des Prüflings zu beträchtlichen Meßfehlern führen.