前景广阔的声表面波传感技术 |
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引用本文: | 施文康,韩韬.前景广阔的声表面波传感技术[J].世界产品与技术,2003(3):38-38,40. |
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作者姓名: | 施文康 韩韬 |
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作者单位: | 上海交通大学
(施文康),上海交通大学(韩韬) |
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摘 要: | 本文着重介绍了新型传感器技术引人注目的一个分支-声表面波传感技术。由于它所特具的众多优点和极其宽广的应用范围,被誉为传感技术领域内的“多面手”。介绍了瑞利波模式表面波传感器的无线和气体传感的典型应用。讨论了可用于液体敏感的声波模式以及相应的传感器。本文还就声表面波传感技术的研究方向和发展等问题发表了作者的见解。
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关 键 词: | 声表面波传感技术 瑞利波模式 气体传感器 发展趋势 MEMS技术 |
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