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责任编辑
分类号
杂志ISSN号
LiNbO3电光调制器制作技术
作者姓名:
张瑞君
作者单位:
中国电子科技集团公司电子第四十四研究所
摘 要:
光凋制器是光通信关键器件之一。国内外已对LiNbO3电光凋制器开展了基础理论,结构设计、工艺制作、性能测试等方面的研究和开发。本文介绍了LiNbO3调制器关键制作技术与工艺。
关 键 词:
LiNbO3 电光调制器 光通信 波导 质子交换 电极 切割 抛光 尾纤
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