| 双坩埚LEC法砷化镓熔体流动与传热传质数值模拟 |
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| 引用本文： | 王正乾,李明伟,徐赟瑜,王晓丁. 双坩埚LEC法砷化镓熔体流动与传热传质数值模拟[J]. 材料科学与工程学报, 2009, 0(6) |
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| 作者姓名： | 王正乾 李明伟 徐赟瑜 王晓丁 |
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| 作者单位： | 重庆大学动力工程学院; |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50676113); 教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-05-0761) |
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| 摘 要： | 采用低雷诺数κ-ε湍流模型,模拟了双坩埚LEC法砷化镓熔体的流动与传热传质。分析了不同晶体转速、内坩埚转速、外坩埚转速条件下的熔体流动与传热,获得了考虑溶质分凝效应后的Si掺杂在砷化镓熔体中的分布。结果表明:随着晶体转速的增大,生长界面附近等温线更加平直且等温线密度增大;随着内坩埚转速的增大,生长界面附近等温线凸向熔体;外坩埚转速对生长界面等温线形状影响很小;Si在熔体中的质量浓度梯度除生长界面和补充熔体进口处较大外,主要集中在小管内及其附近。
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| 关 键 词： | 液封提拉法 质量浓度 数值模拟 双坩埚 |
Numerical Simulation of LEC Growth of GaAs with a Double Crucible |
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| WANG Zheng-qian,LI Ming-wei,XU Yun-yu,WANG Xiao-ding. Numerical Simulation of LEC Growth of GaAs with a Double Crucible[J]. Journal of Materials Science and Engineering, 2009, 0(6) |
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| Authors: | WANG Zheng-qian LI Ming-wei XU Yun-yu WANG Xiao-ding |
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| Affiliation: | WANG Zheng-qian,LI Ming-wei,XU Yun-yu,WANG Xiao-ding(College of Power Engineering,Chongqing University,Chongqing 400030,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | liquid encapsulant czochralski method mass concentration numerical simulation double crucible |
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