纳米器件单粒子效应敏感区重离子微束定位分析技术

<正>微束中通常无法实现100%精确的定位辐照,一般采用先粗定位然后扫描的方法确定敏感区位置。之前的微束试验定位方法是基于准直望远镜和显微镜的光学定位方法,即在PET膜和器件进行正式辐照实验前,利用准直望远镜依据估计的束流中心位置确定好各平台的参考位置,然后在实验时依据束流进行对中微调以及对芯片进行精确定位。光学显微镜定位方法,其定位精度通常为几μm,对于纳米器件来说这个定位精度太差。