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| 二极型溅射离子泵抽速试验 | |
| 作者单位： | 南光机器厂真空试验室 |
| 摘 要： | 冷阴极溅射离子泵是获得无油超高真空的重要工具之一。随着电真空器件的进一步发展,它越来越广泛地被应用于电真空工业中。但目前有关冷阴极溅射离子泵的设计理论还不十分完善,磁路设计在几何形状复杂多样的情况下,理论计算繁杂,与实际出入也大。在生产实践中,有不少参数和尺寸的考虑和选择,往往还经过试验结果来予以修正和确定。为给溅射泵的设计提供一定的实践经验,我们对影响二极式溅射离子泵抽速的主要因素:阳极电压、磁场强度以及阳极格的大小等作了一些初步试验,以探讨这些因素之间的相互关系;此外,对加有钛异华器的溅射泵也作了一些… |
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