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溅射铜膜的闪烁噪声和表面粗糙度的关系

作者姓名：	王曦郑耀宗阮刚王建伟

作者单位：	香港大学电机电子工程系(王曦，郑耀宗)，复旦大学电子工程系(阮刚)，复旦大学电子工程系(王建伟)

摘要：	本文首次采用了金属膜的表面特征来研究金属膜的闪烁噪声。结果表明在二氧化硅和蓝宝石衬底上溅射的铜膜的表面特征及噪声行为都很不相同。粗糙不规则的表面对金属薄膜的闪烁噪声起重要作用。这种噪声的物理模型与MOS器件闪烁噪声的机构类似。
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