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| 用消光式椭圆偏振光谱测量薄膜光学参数的方法 | |
| 作者姓名： | 魏爱俭 |
| 作者单位： | 山东大学光学系 |
| 摘 要： | 本文主要介绍如何应用 TP—77型椭偏仪与 WDF 反射式单色仪组合,实现不同波长下的消光椭偏测量。此方法可测量薄膜厚度、折射率、吸收系数等光学参数。 |
| 关 键 词： | 薄膜 光学 参数 测量 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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