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华虹NEC非外延0.35umBCD工艺实现量产
摘 要:
华虹NEC日前宣布,其非外延0.35umBCD工艺开始量产。华虹NEC在2008年成功研发并量产了BCD350(0.35微米Bipolar CMOS DMOS)工艺。针对市场的不同需求,华虹NEC现又推出了非外延工艺的0.35umBCD工艺,即PMU350工艺。PMU350在BCD350的基础上用deep Nwell替代了外延层,并简化了工艺流程,使该工艺更具竞争力。目前,PMU350工艺已经顺利通过了产品验证开始量产。
关 键 词:
BCD工艺
NEC
CMOS
外延工艺
工艺流程
外延层
竞争力
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