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| PT/PZT/PT薄膜微力传感器 | |
| 引用本文： | 崔岩,孟汉柏,王兢,石二磊,王立鼎.PT/PZT/PT薄膜微力传感器[J].光学精密工程,2007,15(9):1404-1409. |
| 作者姓名： | 崔岩 孟汉柏 王兢 石二磊 王立鼎 |
| 作者单位： | 1. 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁,大连,116023 2. 大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室,辽宁,大连,116023 3. 大连理工大学电子与信息工程学院,辽宁,大连,116023 |
| 摘 要： | 提出了一种基于PT/PZT/PT压电薄膜微悬臂梁结构的微力传感器.运用Sol-Gel(溶胶-凝胶)法制作了PT和PZT薄膜,采用X射线衍射技术表征了PZT和PT/PZT/PT两种薄膜的成相特征,用阻抗分析仪测试了PZT和PT/PZT/PT薄膜的介电常数.结果表明,在PZT薄膜退火温度同为600℃时,PZT和PT/PZT/PT薄膜均为完整的钙钛矿结构,而且PT/PZT/PT薄膜沿(100)晶向强烈取向;在测试频率为1 kHz时,经600℃热处理条件下制备的PZT和PT/PZT/PT薄膜的相对介电常数分别为525和981.最后应用MEMS工艺制作了基于PT/PZT/PT压电薄膜微悬臂梁结构的微力传感器.在静态和准静态下对微力传感器的传感特性进行了测试.测试结果表明,力与位移或电荷具有良好的线性关系.两种尺寸微力传感器的灵敏度分别为0.045 mV/μN和0.007 mV/μN,力分辨率分别为3.7 μN和16.9μN,满足了微牛顿量级微小力的测量. |
| 关 键 词： | PT/PZT/PT薄膜 微悬臂梁 微力传感器 |
| 文章编号： | 1004-924X（2007）09-1404-06 |
| 收稿时间： | 2007/4/13 |
| 修稿时间： | 2007-04-13 |
Microforce sensors based on PT/PZT/PT thin films |
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| CUI Yan,MENG Han-bai,WANG Jing,SHI Er-lei,WANG Li-ding.Microforce sensors based on PT/PZT/PT thin films[J].Optics and Precision Engineering,2007,15(9):1404-1409. | |
| Authors: | CUI Yan MENG Han-bai WANG Jing SHI Er-lei WANG Li-ding |
| Affiliation: | 1. Key Laboratory for Precision and Non-traditional Machining Technology of the Ministry of Education, Dalian University of Technology , Dalian 116023, China; 2. Key Laboratory for Micro / Nano Technology and System of Liaoning Province, Dalian University of Technology , 3. School of Electronic and Information, Dalian University of Technology, Dalian 116023, China Dalian 116023, China |
| Abstract: | |
| Keywords: | PT/PZT/PT thin film microcantilever microforce sensor |
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