| 飞秒激光微加工技术的评述与展望 |
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| 引用本文： | 黄佑香,张庆茂,廖健宏,周永恒. 飞秒激光微加工技术的评述与展望[J]. 金属热处理, 2008, 33(6): 8-13 |
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| 作者姓名： | 黄佑香 张庆茂 廖健宏 周永恒 |
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| 作者单位： | 华南师范大学激光加工实验室,广东广州,510006;华南师范大学激光加工实验室,广东广州,510006;华南师范大学激光加工实验室,广东广州,510006;华南师范大学激光加工实验室,广东广州,510006 |
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| 摘 要： | 综述了飞秒激光微加工技术国内外的研究现状,介绍了飞秒激光微加工在光学、微电子及生物医学等领域的应用,展望了飞秒激光微加工技术未来发展的趋势以及需要解决的关键技术.
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| 关 键 词： | 飞秒激光 应用 微加工 进展 |
| 文章编号： | 0254-6051(2008)06-0008-06 |
| 修稿时间： | 2008-01-24 |
Review and prospects of femtosecond laser micro-processing technology |
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| HUANG You-xiang,ZHANG Qing-mao,LIAO Jian-hong,ZHOU Yong-heng. Review and prospects of femtosecond laser micro-processing technology[J]. Heat Treatment of Metals, 2008, 33(6): 8-13 |
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| Authors: | HUANG You-xiang ZHANG Qing-mao LIAO Jian-hong ZHOU Yong-heng |
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