| 亚纳米精度长度溯源计量型动态模式原子力显微镜 |
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| 引用本文： | 黄强先,権太聪,三隅伊知子,黑澤富藏.亚纳米精度长度溯源计量型动态模式原子力显微镜[J].机械工程学报,2008,44(3):195-199. |
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| 作者姓名： | 黄强先 権太聪 三隅伊知子 黑澤富藏 |
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| 作者单位： | 1. 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,合肥,230009;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072
2. 日本产业技术综合研究所,筑波,305-8563,日本 |
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| 基金项目： | 日本新能源和产业技术开发组织资助项目
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室开放基金 |
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| 摘 要： | 通过与长度溯源三轴激光干涉仪测量系统结合,设计开发计量型动态模式原子力显微镜(AFM).此AFM系统中,三轴激光干涉仪系统用于实时测量AFM测头与试样的相对位移.激光干涉仪系统的x,y,z测量轴正交于AFM探针顶端附近的一点,基本可以避免系统的阿贝误差,使AFM具有极高的测量精度.除此之外,扫描过程中三轴激光干涉仪系统还用于工作台x,y方向位移的反馈控制,完全克服AFM中压电器件的缺陷对水平尺寸测量的影响.分析表明,在对纳米标准栅的平均栅距测量中,AFM系统达到亚纳米的测量精度.
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| 关 键 词： | 长度溯源 激光干涉仪 动态模式原子力显微镜 纳米计量 |
| 修稿时间： | 2007年2月9日 |
Length-traceable Nanometrological Dynamic Mode AFM with Sub-nano Accuracy |
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| HUANG Qiangxian,GONDA Satoshi,MISUMI Ichiko,KUROSAWA Tomizzo.Length-traceable Nanometrological Dynamic Mode AFM with Sub-nano Accuracy[J].Chinese Journal of Mechanical Engineering,2008,44(3):195-199. |
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| Authors: | HUANG Qiangxian GONDA Satoshi MISUMI Ichiko KUROSAWA Tomizzo |
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