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TiN／TaN多莫大的子力显微镜图像的多重分形谱

作者姓名：	熊刚孙霞

作者单位：	[1]中国科学技术大学物理系 [2]中国科学技术大学基础物理中心

摘要：
关键词：	氮化钛氮化钽多层膜原子力显微镜多重分形谱
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