软X线波带片的制作

菲湟尔波带片是一种对衍射率大致为1的软X射线具有透射作用的新型光学元件。本文介绍用电子束曝光制作X线波带片的新方法。通过与反应离子刻蚀配合,能够制成高宽比大、分辨率高的波带片。用试作的波带片聚焦波长为9nm的同步加速器幅射光时,在焦点距离为100mm的位置上,能够将辐射光聚焦成直径为2μm的斑点。