| 微波化学反应器内等离子体空间温度的测量研究 |
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| 引用本文： | 程广山, 杨鸿生, 沈长圣, 孙永志, 孙岚, 董家禄, 褚家美,. 微波化学反应器内等离子体空间温度的测量研究[J]. 电子器件, 2005, 28(3): 556-558 |
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| 作者姓名： | 程广山 杨鸿生 沈长圣 孙永志 孙岚 董家禄 褚家美 |
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| 作者单位： | 东南大学电子工程系,毫米波国家重点实验室,南京,210096;金陵石化分公司,南京,310033;南京大学,南京,210093 |
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| 摘 要： | 针对矩形波导微波化学反应器，在低气压，低功率，纯甲烷微波放电情况下，用朗缪尔探针测量了石英反应管内等离子体的分布，用热偶计测量了微波等离子体在空间的温度分布。在谐振腔中心位置，等离子体的空间温度可以达到829℃；而在等离子体边缘区域，空间温度仅为78℃。
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| 关 键 词： | 微波化学 微波等离子体 温度 热偶计 |
| 文章编号： | 1005-9490（2005）03-0556-03 |
| 收稿时间： | 2004-01-19 |
| 修稿时间： | 2004-01-19 |
Study on the Microwave Plasma Temperature in Microwave Chemical Reactor |
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| CHENG Guang-shan,YANG Hong-sheng,SHEN Chang-sheng,SUN Yong-zhi,SUN Lan,DONG Jia-lu,CHU Jia-mei. Study on the Microwave Plasma Temperature in Microwave Chemical Reactor[J]. Journal of Electron Devices, 2005, 28(3): 556-558 |
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| Authors: | CHENG Guang-shan YANG Hong-sheng SHEN Chang-sheng SUN Yong-zhi SUN Lan DONG Jia-lu CHU Jia-mei |
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| Affiliation: | 1.Department of Electronic Engineering; State Key Lab. zof Millimeter Waves; Nanjing 210096; China; 2.SINOPEC JINLING COMPANY; Nanjing 310033; 3.Nanjing University; Nanjing 210093; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | microwave chemistry microwave plasma temperature thermal couple meter |
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