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| EBIC测定GaP LPE样片的少子扩散长度 | |
| 引用本文： | 李永良,杨锡震,周燕,李承基,李蕴言.EBIC测定GaP LPE样片的少子扩散长度[J].电子显微学报,2000,19(4):581-582. |
| 作者姓名： | 李永良 杨锡震 周燕 李承基 李蕴言 |
| 作者单位： | 1. 北京师范大学分析测试中心,北京,100875;中科院半导体材料开放实验室,北京,100083 2. 北京师范大学分析测试中心,北京,100875 3. 中科院半导体材料开放实验室,北京,100083 |
| 摘 要： | 少数载流子扩散长度(L)是半导体材料的一个重要参量,它反映了晶体的完整性,与晶体的结晶质量、掺杂及晶体缺陷等有关.扫描电子显微镜(SEM)的电子束感生电流(EBIC)被广泛地用于测定少子扩散长度,其优点是通过改变电子束的加速电压,就能精确地控制激发源的大小和深度,从获得的EBIC扫描曲线,拟合得到L值1～3].GaP是目前商用绿色LED的主要材料,市场需求量很大,但对其重要参量少子扩散长度的测量却很少.本工作利用EBIC对一组GaP绿色LED用LPE样片进行少子扩散长度测量. |
| 关 键 词： | EBIC 半导体 磷化铟 LPE样片 分子扩散长度 |
Determining the minority diffusion length on Gap LPE samples using EBIC |
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| LI Yong-liang,YANG Xi-zhen,ZHOU Yan,LI Cheng-ji,LI Yun-yan.Determining the minority diffusion length on Gap LPE samples using EBIC[J].Journal of Chinese Electron Microscopy Society,2000,19(4):581-582. | |
| Authors: | LI Yong-liang YANG Xi-zhen ZHOU Yan LI Cheng-ji LI Yun-yan |
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