| 掺TiO2的SnO2丙酮气敏元件的制作及其灵敏度测试 |
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| 引用本文： | 孙冰,田丰,汪鹏,高金雍. 掺TiO2的SnO2丙酮气敏元件的制作及其灵敏度测试[J]. 传感器世界, 2015, 0(10): 21-25. DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2015.10.003 |
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| 作者姓名： | 孙冰 田丰 汪鹏 高金雍 |
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| 作者单位： | 1. 天津计量监督检测科学研究院,天津,300192;2. 河北工业大学,天津,300401 |
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| 摘 要： | 简单介绍了掺TiO2的SnO2薄膜丙酮气敏元件的制作,重点分析不同的掺杂溅射镀膜时间、不同加热电压对灵敏度的影响.对不同有机蒸气进行选择性测试,发现掺TiO2的SnO2薄膜气体传感器对丙酮有很高的灵敏度,而且输出信号与丙酮气体浓度成正比,浓度低至100ppm也可检测试出来.测定了元件的工作温度与加热电压的关系,发现加热电压为6～7V,相当于元件的工作温度为250～300℃时,对不同气体的灵敏度都很高.
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| 关 键 词： | 丙酮传感器 溅射镀膜 掺TiO2的SnO2薄膜 |
Fabrication method and sensitivity test of TiO2-doped SnO2 thin-film acetone sensor |
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