掺TiO2的SnO2丙酮气敏元件的制作及其灵敏度测试 |
| |
引用本文: | 孙冰,田丰,汪鹏,高金雍. 掺TiO2的SnO2丙酮气敏元件的制作及其灵敏度测试[J]. 传感器世界, 2015, 0(10): 21-25. DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2015.10.003 |
| |
作者姓名: | 孙冰 田丰 汪鹏 高金雍 |
| |
作者单位: | 1. 天津计量监督检测科学研究院,天津,300192;2. 河北工业大学,天津,300401 |
| |
摘 要: | 简单介绍了掺TiO2的SnO2薄膜丙酮气敏元件的制作,重点分析不同的掺杂溅射镀膜时间、不同加热电压对灵敏度的影响.对不同有机蒸气进行选择性测试,发现掺TiO2的SnO2薄膜气体传感器对丙酮有很高的灵敏度,而且输出信号与丙酮气体浓度成正比,浓度低至100ppm也可检测试出来.测定了元件的工作温度与加热电压的关系,发现加热电压为6~7V,相当于元件的工作温度为250~300℃时,对不同气体的灵敏度都很高.
|
关 键 词: | 丙酮传感器 溅射镀膜 掺TiO2的SnO2薄膜 |
Fabrication method and sensitivity test of TiO2-doped SnO2 thin-film acetone sensor |
| |
Abstract: | |
| |
Keywords: | |
本文献已被 万方数据 等数据库收录! |
|