| 基于云模型量子进化算法的薄膜微观结构表征 |
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| 引用本文： | 王一名,张超,孙秀平,匡尚奇,杨海贵. 基于云模型量子进化算法的薄膜微观结构表征[J]. 长春理工大学学报(自然科学版), 2018, 0(4): 20-24,30 |
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| 作者姓名： | 王一名 张超 孙秀平 匡尚奇 杨海贵 |
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| 作者单位： | 长春理工大学 理学院,长春,130022中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,光学系统先进制造技术重点实验室,长春 130033 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金青年基金项目(61405189)，吉林省科技发展计划项目(20150101019JC |
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| 摘 要： | 掠入射X射线反射(GIXR)是光学薄膜表征的优选方法,但它需要建立相应的物理模型并采用一定的算法进行拟合求解。针对目前普遍使用的进化算法存在着种群规模大、收敛速度慢和拟合精度差的问题,本文将云模型与量子进化算法相结合,提出了一种基于云模型量子进化算法(CQEA)的薄膜微观结构表征方法,并将该算法应用于Si单层膜和周期极紫外Mo/Si多层膜的表征之中,并将其拟合结果与基于进化算法的拟合结果进行对比。分析表明,CQEA具有种群规模小、收敛速度快和拟合精度高的优势,同时给出的薄膜结构参数值精度更高。相关研究工作体现了CQEA应用于薄膜微观结构表征中的可行性与优越性,为基于GIXR的薄膜微观结构表征提供一种更优选的拟合求解方法。
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| 关 键 词： | 薄膜光学 薄膜表征 掠入射X射线反射 云模型量子进化算法 极紫外多层膜 单层膜 |
Characterization of Microstructure of Thin Film Based on Cloud Model Quantum Evolution Algorithm |
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| WANG Yiming,ZHANG Chao,SUN Xiuping,KUANG Shangqi,YANG Haigui. Characterization of Microstructure of Thin Film Based on Cloud Model Quantum Evolution Algorithm[J]. Journal of Changchun University of Science and Technology, 2018, 0(4): 20-24,30 |
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| Authors: | WANG Yiming ZHANG Chao SUN Xiuping KUANG Shangqi YANG Haigui |
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